Intellium TM Z100 指標(biāo)參數(shù)：
技術(shù)
靜態(tài) IntelliPhase TM 與PZT相移
系統(tǒng)
測(cè)試光束
102mm(4.0″)
變焦
1X 到 6X
焦距
+/- 2.0m
衰減
可調(diào)
對(duì)準(zhǔn)方式
兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)
對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)
+/- 1.5 degrees
表現(xiàn)(1)
重復(fù)性 3-Flat(2)
l/300 PV
RMS 重復(fù)性(3)
£1 Å
校準(zhǔn)精度
l/100 PV
未校準(zhǔn)精度
l/70 PV
高分辨率
l/8000
空間分辨率
640 X 800
數(shù)字化
8bits
處理時(shí)間
300ms
平均方法
光強(qiáng)和位相
激光器
波長(zhǎng)
632.8nm SLM HeNe (其他選項(xiàng)可選)
偏振
圓偏
相干性
³100m
供電
110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts
機(jī)械
外形尺寸
338 mm x 190 mm x 254 mm
13.5” x 7.5” x 10”
重量
14 kg (31 lb)
工作環(huán)境(4)
溫度
15 to 30°C (59 to 86°F)
溫度變化率
<1.0°C per 15 min
濕度
Relative 5% to 95%
隔震要求
需要對(duì)1 Hz to 120 Hz頻率進(jìn)行隔震
(1)無(wú)振動(dòng)環(huán)境，溫度范圍20-23°C，溫度變化率<1°C/15分鐘，無(wú)熱源；
(2)3-Flat測(cè)量采用每組32個(gè)進(jìn)行平均得出3 sigma的重復(fù)性；
(3)3 sigma的rms采用128組數(shù)據(jù)，每組32個(gè)進(jìn)行平均；
(4)這些參數(shù)表明系統(tǒng)可以工作在當(dāng)前環(huán)境中，但并不表示環(huán)境穩(wěn)定性需要滿足這些要求。
可選配件
TS
TF
F/#
0.75
1.5
3.3
7
11
-
直徑(mm)
130
126
高度(mm)
93
88
70
92.5
97
30
重量(kg)
3
2.9
2.1
2
0.7
TS半徑
47
120
299
665
1050
精度
£l/10
£l/20
