XR源包括一個(gè)19英寸的機(jī)架，該機(jī)架包含氣體子系統(tǒng)，功率傳輸子系統(tǒng)和電子控制設(shè)備；無電極Z-pinch光源組件及其集成的真空泵；以及高效脈沖調(diào)制器。這種模塊化設(shè)計(jì)可輕松集成到顯微鏡或其他應(yīng)用設(shè)備。 XR能夠向2pi球形弧度提供高達(dá)400 milliwatts的2.8nm功率，并且將以高達(dá)2kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。 XR安裝簡單易于使用，僅需電源，冷凍水供應(yīng)，干凈的干燥壓縮空氣和高純度氮?dú)狻?nbsp;
為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進(jìn)行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對(duì)峰值功率和峰值亮度的不同來調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學(xué)接口，方便客戶進(jìn)行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動(dòng)或者自動(dòng)菜單。
無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗顯微鏡和其他應(yīng)用的軟X射線（SXR）在同步加速器設(shè)施之外無法提供�，F(xiàn)在，得益于Energetiq研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室級(jí)光源，軟X射線可以在各種實(shí)驗(yàn)室中用于通量水平的成像和微探測應(yīng)用。
無電極 Z-Pinch™ 軟X射線 (SXR)光源 EQ-10SXR
前期，用于水窗顯微鏡和其他應(yīng)用的軟X射線（SXR）在同步加速器設(shè)施之外無法提供�，F(xiàn)在，得益于Energetiq研發(fā)的實(shí)驗(yàn)室級(jí)光源，軟X射線可以在各種實(shí)驗(yàn)室中用于通量水平的成像和微探測應(yīng)用。
